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香港VOC废气处理哪家信誉好

作者:197mdp 时间:2024-05-28 10:02:56

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半导体废气处理方法有那些? 针对半导体废气的特性,治理工艺的选择至关重要。酸碱废气:一般采用碱液吸收和酸液吸收进行处理;有机废气:可采用吸附法、吸收法、直接燃烧法、催化燃烧法、冷凝法等多种工艺;有毒废气:对于砷烷、磷烷等有毒废气,则可采用砷磷烷吸附塔进行处理。此外,针对半导体产线中不同工艺环节产生的废气,还需结合实际情况进行工艺优化和组合。例如,在PECVD工艺中,可采用不锈钢燃烧筒、硅烷燃烧洗涤塔和氨气洗涤塔等组合工艺,实现对硅烷和氨气的去除;在丝网印刷工艺中,可采用活性炭纤维吸附塔对有机废气进行净化处理。

半导体行业产生的废气具有风量大、浓度低的特点。废气种类繁多,成分复杂,常见成分有苯、甲苯、、正丁醇、单甲醚、环己酮、正庚烷、甲基氢呋喃、氯乙烯和氯仿等,通常分为酸碱废气、有机废气和有毒气体,其中砷烷、磷烷等有毒废气具有极强的毒性和腐蚀性。如果不处理这些废气,不仅会对周围环境产生较大危害,还会严重影响工人健康,长时间接触这些气体,会对肺部和皮肤黏膜产生刺激作用,从而导致呼吸道和皮肤疾病。因此,需要采用的废气治理技术,对半导体行业VOCs废气进行净化处理后达到排放要求。半导体废气处理方法有那些? 针对半导体废气的特性,治理工艺的选择至关重要。酸碱废气:一般采用碱液吸收和酸液吸收进行处理;

以上就是关于奶粉厂有机废气处理设备的介绍,具体还要根据企业规模、现有环保设备、生产工艺等情况制定合理方案,选择适合自身和后期发展需要的处理方案。需要废气处理设备、通风设备可以和我们,提供催化燃烧设备、UV光解废气处理设备、等离子废气处理设备、活性炭吸附设备等等一系列的环境保护设备。可为广大客户提供一体化解决方案(环评——咨询——技改——检测——验收)

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特殊气体工艺废气是指在氧化、扩散、CVD沉积、离子注入、干法刻蚀等工序中产生的微量硅烷、磷烷、、以及CLa、CF4。在集成电路芯片的加工过程中,掺杂气体工艺尾气主要来自扩散、CVD沉积、离子注入工序,尾气中含有微量硅烷、磷烷、氯化硼、等特殊气体。为防止出现工艺尾气中特殊气体的排放浓度突然增大的情况和其它意外突发情况,确保工艺尾气的安全处理效果,经源头处理后的工艺尾气再经有机废气处理系统和酸性废气处理系统处理后排放。

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